IS 系(xi)列(lie)贵金属镀膜(mo)设备(bei)参数 | |
型号 | IS13-2 |
真空室尺寸 | 装载腔: 494*475*510 (mm) 工艺腔(qiang): 516*475*530 (mm) |
磁控溅射源 | 3 个 |
等离(li)子清(qing)洗(xi)源(yuan) | 1 个 |
极限真空 | <5.0*10-5 Pa |
最高温度 | <500℃(工件加温(wen)) |
涂(tu)层区域 | Φ45*60 (工(gong)件最大尺寸(cun)) |
控(kong)制系统 | ·全自动(dong)工艺控(kong)制软件 ·参数实时监(jian)测系(xi)统(tong) |
真空室结构 | 镀膜腔+装载腔 |
设(she)备(bei)尺寸 | 2700*2280*2770 (mm) |
功(gong)率 | 20KW |
备注 | 设备可依据客(ke)户需求进(jin)行定(ding)制 |