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    • IS-PM 贵金属膜层专用设备-IS13-2

      产品特点：
    • 主要特点和技术优势：  
      模块(kuai)化通用接口，直接兼(jian)容不同形(xing)式阴极靶材，允(yun)许直流脉冲、中频、射频工作模式；兼容性强
      特殊设计的(de)磁场及(ji)工艺气路，有效提升(sheng)靶材(cai)利用率以及(ji)长期工艺稳定性
      双(shuang)腔室结构(gou)设计，既保障了(le)工艺过程(cheng)的稳(wen)定(ding)性(xing)(xing)与(yu)一(yi)致性(xing)(xing)，又极大缩短了镀膜前处理时间，提高生产效率；
      自(zi)主设计的全自(zi)动智能化工艺操作系(xi)统，提供全面、便捷的工艺配(pei)方编辑及调用能(neng)力，配(pei)备实时(shi)工(gong)艺参数监控(kong)系(xi)统(tong)，允许在线远程控制。
  • 产品(pin)资料下载
    • 规格参数(shu)：

    IS 系(xi)列(lie)贵金属镀膜(mo)设备(bei)参数

    型号

    IS13-2

     

    真空室尺寸

    装载腔： 494*475*510 (mm)

    工艺腔(qiang)： 516*475*530 (mm)

    磁控溅射源

    3 个

    等离(li)子清(qing)洗(xi)源(yuan)

    1 个

    极限真空

    ＜5.0*10-5 Pa

    最高温度

    ＜500℃(工件加温(wen))

    涂(tu)层区域

    Φ45*60 (工(gong)件最大尺寸(cun))

     

    控(kong)制系统

    ·全自动(dong)工艺控(kong)制软件

    ·参数实时监(jian)测系(xi)统(tong)

    真空室结构

    镀膜腔+装载腔

    设(she)备(bei)尺寸

    2700*2280*2770 (mm)

    功(gong)率

    20KW

    备注

    设备可依据客(ke)户需求进(jin)行定(ding)制