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IS-PM 贵金属膜层专用设备
IS13-2
IS-PM 系列贵(gui)金属薄膜专用镀(du)膜设备采用双腔室结构设计,工(gong) 艺(yi)腔+装(zhuang)/卸载腔,是工(gong)艺(yi)可靠(kao)性与制程(cheng)效率的(de)完美融合。设备配(pei)备一(yi) 套高能离子束清洗源(Ionbeam Cleaning Source),多(duo)套磁(ci)控溅射(she) 源(Magnetron Sputtering Source),配(pei)合可靠(kao)的(de)伺服(fu)电磁(ci)推进系 统,设备模块(kuai)化程(cheng)度(du)高、稳定(ding)性好、操作简单且(qie)维护方便。
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